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壓電線性二維臺-北京派和科技股份有限公司
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產(chǎn)品中心
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壓電線性位移臺適用于要求精確定位,完全非磁性或者真空兼容的環(huán)境。直接驅(qū)動的原理確保運動系統(tǒng)無任何機械間隙或齒隙,具有亞微米級移動精度、分辨率和平滑的線性運動。壓電線性位移臺具有卓越的精度、快速的響應(yīng)和占地面積小、重量輕、功率適中等優(yōu)點。 

應(yīng)用領(lǐng)域
  • 核磁環(huán)境下的設(shè)備

  • 航空航天中的精確定位

  • 生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域精密微操作



主要特點
  • 最大行程70mm,最大速度250mm/s

  • 體積小,重量輕,響應(yīng)快,無電磁干擾,斷電自鎖

  • 采用分辨率為0.1μm的直線光柵,利用PID控制技術(shù),重復(fù)定位精度可達0.5μm

  • 最大推/拉力可達16 N



產(chǎn)品規(guī)格

運動與定位性能

行程

70mm

單軸速度(max

250mm/s

最小位移量

0.5μm

編碼器分辨率

0.1μm

空載時單軸最大推/拉力

14~16N

臺子最大負載

 3.5Kg

斷電自鎖力

 14N

預(yù)緊力

 72N

最大橫向力

 16N

微動臺直線度 

≤3um

微動臺平面度

 ≤4um

偏角、導(dǎo)航

0.02°;0.01° 


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